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電子槍電子槍是用來(lái)產(chǎn)生受控的電子束原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH,并完成電子束的預聚焦和強度控制的裝置。
C2)抽真空系統為了保證電子的高速運動(dòng),必須將真空室抽至1.3x10-2-1.3x10-4Pa的高真空度,否則無(wú)法避免電子原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH與氣體分子的碰撞,影響電子的高速運動(dòng)。除此之外,抽真空后可消除加工時(shí)由于金屬蒸汽的影響使電子發(fā)射不穩定,抽真空后還可減小被加工表面的污染。
}3)電子束控制系統電子束控制系統包括束流強度控制、束流聚焦控制及束流位置控制。束流強度控制是通過(guò)改變加在陰極上的負高壓〔50一150kV以上的負高壓)來(lái)實(shí)現的。為了避免加工時(shí)熱量擴散至工件的不加工部位,常使用間歇性的電子束。所以加速電壓應是脈沖電壓。束流聚焦原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH控制是通過(guò)“電磁透鏡”的磁場(chǎng)作用,使電子束流壓縮成截面直徑很小的束流,以達到提高電子束的能量密度。有時(shí)為了獲得更細小的焦點(diǎn),須進(jìn)行二次聚焦。束流位置的控制是用磁偏轉控制電子束焦點(diǎn)位置的方法實(shí)現的,具體方法是通過(guò)一定程序改變偏轉電壓或電流,使電子束按某種規律運動(dòng)。
C4)工作臺系統電子束的偏轉〔移動(dòng))只能在幾原裝哈默納科電子束工作臺諧波減速機CSF-58-50-2UH毫米范圍之內調控,移動(dòng)過(guò)大將會(huì )降低工件的加工精度,因此需用伺服電機控制工作臺作縱橫兩個(gè)方向運動(dòng)來(lái)獲得工件的更大移動(dòng)范圍。